3結(jié)果與討論

3.1激光參數(shù)對銅微電極導(dǎo)電性能的影響

激光參數(shù)的變化對銅微電極導(dǎo)電性能有很大影響。激光功率、掃描速率等參數(shù)的變化將會引起輻照區(qū)域激光能量密度的變化，從而影響銅離子的還原與連接，使銅微電極呈現(xiàn)不同的導(dǎo)電性。

3.1.1激光功率對導(dǎo)電性能的影響

控制飛秒激光的掃描速度為3mm/s,離焦量為6cm,改變激光功率，分別取456,503,640,880,980,1210,1580mW,探究激光功率對銅微電極導(dǎo)電性能的影響。圖2（a）為銅微電極平均線寬隨激光功率變化的曲線，可見：隨著功率增大，微電極線寬逐漸從457μm增加至1440μm.功率越大，相同時間內(nèi)前驅(qū)體吸收的能量越多，發(fā)生還原的銅離子增多，得到的銅納米顆粒越多。激光能量密度在光斑范圍內(nèi)具有高斯分布現(xiàn)象，表現(xiàn)為光斑邊緣處的能量密度較低，而光斑中心處的能量較高。當(dāng)激光光斑直徑恒定時，隨著激光功率增大，光斑邊緣的能量密度變大，燒結(jié)成線的區(qū)域擴(kuò)大，從而導(dǎo)致所得圖案線寬增加。圖2（b）為所制備的銅微電極方阻隨激光功率變化的曲線圖，可以看出：在較低的功率下（不大于640mW），所制備的微電極的方阻較大（MΩ